根据您提供的信息，申报增值税的过程中，税控盘减免税款的相关步骤可能因地区和具体政策而有所不同。一般来说，需要填写几个表格以完成减免税款的申报。 您提到的第一步填写增值税减免税申报明细，这是申报增值税减免税款的第一步，需要详细填写减免税款的相关信息。 第二步增值税纳税申报表附列资料（四）税额抵减情况表，这个表格用于申报税额抵减的情况，涉及到税控系统专用设备费及技术维护费的抵减。 第三步主表应纳税额减征额，这是申报增值税减免税款的最后一步，需要在主表中填写应纳税额减征额。